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原子力顯微鏡（平板掃描式） WY- LSCL-AFM

原子力顯微鏡（平板掃描式） WY- LSCL-AFM
◆性能特點(diǎn)：實(shí)現(xiàn)探針和樣品組合式移動(dòng)掃描的商業(yè)化原子力顯微鏡。國(guó)內(nèi)頭家采用三軸獨(dú)立閉環(huán)壓電平移式掃描臺(tái)，實(shí)現(xiàn)大范圍高精度掃描。三軸獨(dú)立式掃描，XYZ互不影響，非常適合三維材料及形貌檢測(cè)。電動(dòng)控制樣品移動(dòng)臺(tái)和升降臺(tái)，可任意編程多點(diǎn)位置實(shí)現(xiàn)快速自動(dòng)化檢測(cè)。龍門架式掃描頭設(shè)計(jì)，大理石底座，真空吸附和磁
服務(wù)熱線： 4001-123-022

  • ◆性能特點(diǎn)：
    實(shí)現(xiàn)探針和樣品組合式移動(dòng)掃描的商業(yè)化原子力顯微鏡。

    采用三軸獨(dú)立閉環(huán)壓電平移式掃描臺(tái)，實(shí)現(xiàn)大范圍高精度掃描。

    三軸獨(dú)立式掃描，XYZ互不影響，非常適合三維材料及形貌檢測(cè)。

    電動(dòng)控制樣品移動(dòng)臺(tái)和升降臺(tái)，可任意編程多點(diǎn)位置實(shí)現(xiàn)快速自動(dòng)化檢測(cè)。

    龍門架式掃描頭設(shè)計(jì)，大理石底座，真空吸附和磁性吸附式載物臺(tái)。
    馬達(dá)自動(dòng)控制加壓電陶瓷自動(dòng)探測(cè)的智能進(jìn)針方式，保護(hù)探針及樣品。
    高倍輔助光學(xué)顯微定位，實(shí)時(shí)觀測(cè)與定位探針以及樣品掃描區(qū)域。

    閉環(huán)壓電掃描臺(tái)無需非線性校正，納米表征和測(cè)量精度優(yōu)于99.5%。


     ◆測(cè)量范圍及應(yīng)用：

    測(cè)量范圍：二維、三維、Z值、相位、表面形貌、粗糙度、膜厚、形貌、相位。

    應(yīng)用：納米材料、石墨烯、薄膜、鈍化膜、短切玻纖復(fù)材、分子篩、TiO2、CrPS4（15）、CrPS4（16）、中空纖維膜絲、粗糙度測(cè)試、四氧化三鐵、M13-PBA等。



    ◆ 應(yīng)用案例 Application Case


    微信圖片_20220424160112.png



  • 序號(hào)

    名稱

    技術(shù)參數(shù)

    01

    工作模式

    接觸模式、輕敲模式

    02

    選配模式

    摩擦力/側(cè)向力、振幅/相位、磁力/靜電力

    03

    力譜曲線

    F-Z力曲線、RMS-Z曲線

    04

    XY掃描方式

    樣品驅(qū)動(dòng)式掃描，閉環(huán)壓電平移式掃描臺(tái)

    05

    Z掃描方式

    探針驅(qū)動(dòng)式掃描

    06

    XY掃描范圍

    閉環(huán)100×100um

    07

    Z掃描范圍

    10um

    08

    掃描分辨率

    閉環(huán)XY向0.5nm，Z向0.05nm

    09

    XY樣品臺(tái)

    步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)控制，移動(dòng)精度1um

    10

    XY移動(dòng)行程

    100×100mm（可選200×200mm，300×300mm）

    11

    樣品載物臺(tái)

    直徑100mm（可選200mm，300mm）

    12

    樣品重量

    ≤0.5Kg

    13

    Z升降臺(tái)

    步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)控制，*小步長(zhǎng)10nm

    14

    Z升降行程

    15mm（可選20mm，25mm）

    15

    光學(xué)定位

    10X光學(xué)物鏡

    16

    攝像頭

    500萬像素?cái)?shù)字CMOS

    17

    掃描速率

    0.6Hz~30Hz

    18

    掃描角度

    0~360°

    19

    運(yùn)行環(huán)境

    Windows XP/7/8/10操作系統(tǒng)

    20

    通信接口

    USB2.0/3.0

    21

    儀器結(jié)構(gòu)

    龍門架式掃描頭，大理石底座

    22

    減震方式

    氣浮式減震臺(tái)+金屬屏蔽隔音箱（可選主動(dòng)式減震臺(tái)）


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◆性能特點(diǎn)：光學(xué)金相顯微鏡和原子力顯微鏡一體化設(shè)計(jì)，功能強(qiáng)大。同時(shí)具備光學(xué)顯微鏡和原子力顯微鏡成像功能，兩者可同時(shí)工作，互不影響。同時(shí)具備光學(xué)二維測(cè)量和原子力顯微鏡三維測(cè)量功能。激光檢測(cè)頭和樣品掃描臺(tái)集成一體，結(jié)構(gòu)非常穩(wěn)定，抗干擾性強(qiáng)。精密探針定位裝置，激光光斑對(duì)準(zhǔn)調(diào)節(jié)非常簡(jiǎn)便。單軸驅(qū)動(dòng)樣品自動(dòng)垂直
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